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机译:用等离子体生产大功率感应耦合等离子体的设备
公开/公告号PT908923E
专利类型
公开/公告日2003-08-29
原文格式PDF
申请/专利权人 EUROPEAN COMMUNITY;
申请/专利号PT19980401199T
发明设计人 ROLAND ERNST;FRANCOIS ROSSI;JEAN DAVIET;PASCAL COLPO;
申请日1998-05-19
分类号H01J37/32;
国家 PT
入库时间 2022-08-22 00:01:20
机译: 感应耦合等离子体天线单元,感应耦合等离子体处理装置以及感应耦合等离子体处理方法
机译: 具有高密度的均匀等离子体密度分布的感应耦合等离子体天线,不会造成损伤,并且具有相同特性的感应耦合等离子体处理设备
机译: 等离子体点火装置,等离子体装置,感应耦合等离子体处理装置,点燃等离子体的方法和等离子体处理方法