公开/公告号KR100404647B1
专利类型
公开/公告日2003-10-27
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL CO. LTD.;
申请/专利号KR20020012414
发明设计人 TANABE YOSHIYUKI;NOMURA YOSHIHIRO;KIRIHARA HIROSHI;HOSOGAWA YOUICHI;IIOKA SHINJI;YANAGISAWA SATORU;
申请日2002-03-08
分类号H01L23/495;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 23:45:00