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Manipulator for positioning test head on test device, e.g. for semiconductor device handler or wafer prober and carrying beam with fixing points to allow attachment of cross-arms at variable positions

机译:用于将测试头定位在测试设备上的机械手,例如用于半导体设备处理程序或晶圆探测器,并带有固定点的光束,以允许将横臂固定在可变位置

摘要

A carrying beam (21) is supported on at least two cross-arms which are releasably connected to the carrying beam. The carrying beam includes a number of fixing points on which the cross-arms can be attached at variable positions in the longitudinal direction.
机译:承载梁(21)支撑在至少两个横向臂上,所述至少两个横向臂可释放地连接到承载梁。承载梁包括多个固定点,横臂可在多个固定点上沿纵向方向固定在不同的位置。

著录项

  • 公开/公告号DE20311615U1

    专利类型

  • 公开/公告日2003-10-23

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 HEIGL HELMUTH;

    申请/专利号DE2003211615U

  • 发明设计人

    申请日2003-07-28

  • 分类号B25J1/12;

  • 国家 DE

  • 入库时间 2022-08-21 23:40:42

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