要解决的问题:提供一种舞台装置,该舞台装置尺寸减小并且易于组装,以快速且准确地定位小型元件,部件等。
解决方案:线性驱动马达4布置在移动平台1的下侧,移动状态1的位置由线性编码器10测量并反馈到控制装置,并确定移动位置阶段1由线性驱动电动机4进行。线性电动机4由驱动部4a和驱动轴4b构成,该驱动部4a具有产生移动磁场的圆筒状的线圈和在轴向上可线性移动的圆柱轴4b。在线性驱动电动机4的驱动部4a上配置有热管6,由热管6在驱动部4a产生的热向散热部7消散。向线性驱动电动机4供给的电流值当由温度传感器11测量的温度变为在规定的定位精度下热影响不可忽略的温度时,可以控制“温度”控制。
版权:(C)2004,日本特许厅
公开/公告号JP2004064916A
专利类型
公开/公告日2004-02-26
原文格式PDF
申请/专利权人 FI TECHNO:KK;
申请/专利号JP20020221399
申请日2002-07-30
分类号H02K41/03;B23Q5/28;B23Q11/12;H01L21/027;H02K9/22;H02K41/02;H02P7/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 23:27:51