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Method for reducing the partial pressure of undesired gases in a small vacuum vessel

机译:减小小型真空容器中不良气体分压的方法

摘要

This invention relates to a method for reducing the partial pressure of undesired gases in a small vacuum vessel. The method comprises using a getter pump with a sufficient sorption capacity to eliminate the need for a bakeout step.
机译:本发明涉及一种减小小型真空容器中不希望有的气体分压的方法。该方法包括使用具有足够吸附能力的吸气泵以消除烘烤步骤的需要。

著录项

  • 公开/公告号US2004208752A1

    专利类型

  • 公开/公告日2004-10-21

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MCCAMBRIDGE JAMES D.;

    申请/专利号US20040782319

  • 发明设计人 JAMES D. MCCAMBRIDGE;

    申请日2004-02-19

  • 分类号F04B37/02;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 23:22:03

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