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METHOD FOR REDUCING THE PARTIAL PRESSURE OF UNDESIRED GASES IN A SMALL VACUUM VESSEL

机译：减小小型真空容器中不希望有的气体分压的方法

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This invention relates to a method for reducing the partial pressure of undesired gases in a small vacuum vessel. The method comprises using a getter pump with a sufficient sorption capacity to eliminate the need for a bakeout step.

机译：本发明涉及一种减小小型真空容器中不希望有的气体分压的方法。该方法包括使用具有足够吸附能力的吸气泵以消除烘烤步骤的需要。

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公开/公告号WO2004073825A3

专利类型
公开/公告日2005-06-16

原文格式PDF
申请/专利权人 E.I. DUPONT DE NEMOURS AND COMPANY;MCCAMBRIDGE JAMES D.;
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申请/专利号WO2004US05321
发明设计人 MCCAMBRIDGE JAMES D.;
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申请日2004-02-20
分类号F04B37/02;H01J9/38;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 22:12:39

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