公开/公告号US6806099B2
专利类型
公开/公告日2004-10-19
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD.;
申请/专利号US20020059203
发明设计人 MAKOTO OHKURA;YOSHINOBU KIMURA;HIRONOBU ABE;TAKEO SHIBA;MASAKAZU SAITO;YUKIO TAKASAKI;KAZUO TAKEDA;
申请日2002-01-31
分类号G01R312/60;H01L216/60;
国家 US
入库时间 2022-08-21 23:19:48