公开/公告号US6764952B1
专利类型
公开/公告日2004-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 NOVELLUS SYSTEMS INC.;
申请/专利号US20020099232
发明设计人 JENGYI YU;KA SHUN WONG;SANJEEV JAIN;SOMNATH NAG;HAIYING FU;ATUL GUPTA;BART J. VAN SCHRAVENDIJK;
申请日2002-03-13
分类号H01L214/40;
国家 US
入库时间 2022-08-21 23:18:50