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Method for shaped optical MEMS components with stressed thin films

机译：具有受力薄膜的成形光学MEMS元件的方法

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摘要

A method is disclosed for making shaped optical moems components with stressed thin films. In particular, stressed thin films are used to make mirror structures.

机译：公开了一种用于制造具有应力薄膜的成形光学薄膜组件的方法。特别地，应力薄膜用于制造镜面结构。

著录项

公开/公告号US6706202B1

专利类型
公开/公告日2004-03-16

原文格式PDF
申请/专利权人 XEROX CORPORATION;
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申请/专利号US20000672386
发明设计人 CHRISTOPHER L. CHUA;MICHEL A. ROSA;DECAI SUN;PATRICK Y. MAEDA;ERIC PEETERS;FRANCESCO LEMMI;
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申请日2000-09-28
分类号B81B70/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 23:14:31

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