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机译:使用自对准结构精确地对准基板
公开/公告号SE0402042D0
专利类型
公开/公告日2004-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 FRANK NIKLAUS;GOERAN STEMME;
申请/专利号SE20040002042
发明设计人 GOERAN STEMME;FRANK NIKLAUS;
申请日2004-08-18
分类号H01L;
国家 SE
入库时间 2022-08-21 23:07:42
机译: 卷对卷系统中的高精度高精度基材对齐设备,可消除TA轧辊和基材之间的对齐误差
机译: 光电复合布线结构,包含光学元件安装基质,光学波导层和光学路径转换组件的结构;包含光学元件安装基质和光学路径转换组件的结构;包含光学路径转换组件和光学波导层的结构;具有对准结构的光学路径转换组件;和微透镜阵列,包括对齐结构
机译: 用于基板的光学对准的标记结构,包括这种标记结构的基板,用于对准这种标记结构的对准方法以及光刻投影设备