公开/公告号EP1430524A2
专利类型
公开/公告日2004-06-23
原文格式PDF
申请/专利权人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT;
申请/专利号EP20020774408
发明设计人 WEIDNER KARL;HAESE KERSTIN;ZAPF JOERG;REBHAN MATTHIAS;AMIGUES LAURENCE;SCHWARZBAUER HERBERT;SELIGER NORBERT;
申请日2002-09-25
分类号H01L21/60;H01L23/051;H01L23/538;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 22:52:13