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Multi-layer structure production of semiconductor materials with different mesh parameters comprises epitaxy of thin film on support substrate and adhesion on target substrate

机译:具有不同网格参数的半导体材料的多层结构生产包括支撑衬底上的薄膜外延和目标衬底上的附着力

摘要

The production of a multi-layer structure of semiconductor materials comprises: (a) the production of a layer (110) incorporating a superficial thin film on a support substrate (100); (b) the creation of a fragilisation (sic) zone in the assembly (10) formed by the support substrate and the thin film deposited; (c) the adhesion of the assembly with a target substrate (20); (d) the detachment at the level of the fragilisation zone; and (e) the treatment of the surface of the structure thus obtained.
机译:半导体材料的多层结构的生产包括:(a)在支撑衬底(100)上结合有表面薄膜的层(110)的生产; (b)在由支撑衬底和所沉积的薄膜形成的组件(10)中形成脆化(sic)区; (c)组件与目标衬底(20)的粘合; (d)在易熔区水平的支队; (e)对由此获得的结构的表面进行处理。

著录项

  • 公开/公告号FR2848334A1

    专利类型

  • 公开/公告日2004-06-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES;

    申请/专利号FR20020015499

  • 发明设计人 MAZURE CARLOS;

    申请日2002-12-06

  • 分类号H01L21/20;

  • 国家 FR

  • 入库时间 2022-08-21 22:39:17

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