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Manufacturing method of ferroelectric film, manufacturing method of ferroelectric element, surface acoustic wave element, ink jet head, inkjet printer, frequency filter, oscillator, electronic circuit, and electronic equipment

机译：铁电薄膜的制造方法，铁电元件，表面声波元件，喷墨头，喷墨打印机，滤波器，振荡器，电子电路以及电子设备的制造方法

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公开/公告号JP2004296679A5

专利类型
公开/公告日2005-05-26

原文格式PDF
申请/专利权人
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申请/专利号JP2003085760
发明设计人
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申请日0000-00-00
分类号H01L41/22;H01L27/105;H01L41/09;H01L41/18;H03B5/30;H03H3/08;H03H9/25;H03H9/64;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:37:32

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