要解决的问题:提供具有高精度形成的多步构造的树脂成型品,用于燃料电池的流路构件,其制造方法以及所使用的压模的制造方法。制造它们。
解决方案:本发明的用于树脂成形品的压模的制造方法是用于制造具有至少两步的阶梯差的多步结构的树脂制品的压模和第一层抗蚀剂的方法。在基底1上形成图2所示的结构。将负型抗蚀剂用作第一层抗蚀剂2。通过光刻处理在具有第一层抗蚀剂图案2的基底1上形成突出部。在其上形成有突出部分的基底1上涂覆有第二层抗蚀剂5。通过光刻处理在抗蚀剂图案2a上形成抗蚀剂图案5a。通过电镀处理将金属粘附在基座上以形成压模8。
版权所有:(C)2005,JPO&NCIPI
公开/公告号JP2005047250A
专利类型
公开/公告日2005-02-24
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申请/专利权人 KURARAY CO LTD;
申请/专利号JP20040010016
发明设计人 NAGAYAMA TSUTOMU;YANAGAWA YUKIHIRO;YAMAMOTO HISASHI;WATANABE JUNJI;OKADA TATSUYA;KARAI MASARU;NISHI YASUYA;
申请日2004-01-19
分类号B29C33/38;G03F7/40;H01M8/02;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:31:55