公开/公告号JP2005106805A
专利类型
公开/公告日2005-04-21
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI LTD;
申请/专利号JP20040197321
发明设计人 AMAMIYA KENSUKE;UENO YUICHIRO;KITAGUCHI HIROSHI;YOKOMIZO OSAMU;YANAGIDA NORIFUMI;TSUCHIYA KAZUTOSHI;YOKOI KAZUMA;KOJIMA SHINICHI;
申请日2004-07-02
分类号G01T1/161;G01T1/24;H01L31/09;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 22:31:12