机译:固定金属微粒的方法,金属微粒子的制造方法,碳纳米管微粒子的制造方法以及使用该固定方法的半导体微粒子晶体棒的制造方法
公开/公告号WO2005007564A1
专利类型
公开/公告日2005-01-27
原文格式PDF
申请/专利号WO2004JP10301
申请日2004-07-20
分类号B82B3/00;C01B31/02;G03F7/004;G03F7/40;H01L21/285;H01L21/288;H01L21/46;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 22:11:49