公开/公告号DE60111926D1
专利类型
公开/公告日2005-08-18
原文格式PDF
申请/专利权人 AXCELIS TECHNOLOGIES INC.;
申请/专利号DE2001611926T
发明设计人 BERRY LOUIS;CHUNG KYUHA;HAN QINGYUAN;LIU YOUFAN;MOYER SCOTT;SPAULDING JOHN;WALDFRIED CARLO;BRIDGEWATER TODD;CHEN WEI;
申请日2001-03-20
分类号C01B33/12;C04B41/50;H01L21/312;H01L21/316;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 21:59:27