要解决的问题:通过支撑基板以使其不施加张力而不会与掩模接触,并通过精确地检测用于检测基板位置的标记的位置来使掩模与基板精确对准。和面具。
解决方案:用于将掩模与基板对准的方法包括以下步骤:将具有形成在其中的图案的金属掩模12保持在掩模安装件4上;通过使用光源8和反射板组件从下侧照亮用于检测放置在掩模的角落中的位置的标记14,并从上方用电荷耦合器件照相机10拍摄标记14的照片;用钩构件支撑已被传送到掩模12的上部的透明基板11的两侧,同时引导要被气相沉积的表面向下,从而在基板和掩模之间形成间隙;从上方用光源9照射位于基板的角部的标记13,并用CCD相机10拍摄标记13的照片。利用算术单元20,根据通过对掩模和基板的标记的照片所提供的图像进行处理而获得的与标记位置有关的信息,计算基板相对于掩模的相对位置;根据计算出的相对位置移动基板,使得基板和掩模的相对位置可以在预定的允许范围内。
版权:(C)2006,JPO&NCIPI
公开/公告号JP2006176809A
专利类型
公开/公告日2006-07-06
原文格式PDF
申请/专利权人 ULVAC JAPAN LTD;
申请/专利号JP20040369446
申请日2004-12-21
分类号C23C14/24;C23C14/04;H05B33/10;H01L51/50;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:52:09