公开/公告号JPWO2004049449A1
专利类型
公开/公告日2006-03-30
原文格式PDF
申请/专利权人 独立行政法人産業技術総合研究所;
申请/专利号JP20040555023
申请日2003-11-25
分类号H01L29/872;H01L29/47;H01L21/28;H01L29/78;H01L29/12;H01L27/04;H01L29/861;H01L29/812;H01L21/338;H01L29/808;H01L21/337;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:49:02