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CARBON-NANOTUBE COLD CATHODE AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

机译:碳纳米管冷阴极及其制造方法

摘要

A method for fabricating a carbon-nanotube cold cathode is described. A conductive layer is formed on a substrate, and then a metal film is selectively formed on predetermined emitter regions of the conductive layer. An anodization treatment is done to the metal film to form numerous nanopores through the metal film. Thereafter, carbon nanotubes are deposited into the nanopores through electrodeposition, wherein one end of each carbon nanotube is exposed outside a corresponding nanopore of the metal film.
机译:描述了一种制造碳纳米管冷阴极的方法。在基板上形成导电层,然后在导电层的预定发射极区域上选择性地形成金属膜。对金属膜进行阳极氧化处理以穿过金属膜形成许多纳米孔。之后,通过电沉积将碳纳米管沉积到纳米孔中,其中每个碳纳米管的一端暴露在金属膜的相应纳米孔的外部。

著录项

  • 公开/公告号US2006103287A1

    专利类型

  • 公开/公告日2006-05-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 LI-REN TSUEI;

    申请/专利号US20040904519

  • 发明设计人 LI-REN TSUEI;

    申请日2004-11-15

  • 分类号H01J1/02;H01J1/14;H01J9/04;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 21:47:42

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