基于碳纳米管冷阴极的多功能电子枪结构设计

摘要

碳纳米管是一种理想的场致发射材料,基于碳纳米管冷阴极的原型器件得到广泛报道,如X射线管,电离真空计等真空电子器件.碳纳米管冷阴极由于其发射原理,可以有效降低器件的尺寸.本工作提出了一种集真空计量和电子聚焦于一体的电子枪结构,可以有效解决小型化真空器件的真空度检测存在的困难.