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机译:平面基板上的超光滑微细加工孔,用于集成式膜片钳
公开/公告号US2006003145A1
专利类型
公开/公告日2006-01-05
原文格式PDF
申请/专利权人 CARL L. HANSEN;TOBIAS KIPPENBERG;
申请/专利号US20050052619
发明设计人 CARL L. HANSEN;TOBIAS KIPPENBERG;
申请日2005-02-04
分类号B32B3/10;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:41:58
机译: 平面基质上超光滑的微细孔,用于集成斑块夹紧
机译: 一种视觉上辨别裂纹,缺陷,形状孔或孔的方法,一种是平面半导体组件的基板上的氧化腐蚀保护层,另一个(不是紧急的)裂纹,缺陷,形状孔或孔的保护层