公开/公告号EP1237673A4
专利类型
公开/公告日2006-04-19
原文格式PDF
申请/专利权人 LASER TECHNOLOGY WEST LIMITED;
申请/专利号EP20000922132
申请日2000-04-13
分类号B23D1/00;B24B27/06;B23D57/00;B23D59/00;B23D61/18;B28D5/00;B28D5/04;F41B7/00;H01L21/304;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 21:31:24