公开/公告号EP1364231B1
专利类型
公开/公告日2006-03-15
原文格式PDF
申请/专利权人 EUV LLC;
申请/专利号EP20010987139
发明设计人 STULEN RICHARD H.SANDIA NATIONAL LABORATORIES;KLEBANOFF LEONARDE.SANDIA NATIONAL LABORATORIES;
申请日2001-12-12
分类号G02B1/10;G21K1/06;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 21:30:43