公开/公告号EP1598443A3
专利类型
公开/公告日2006-02-01
原文格式PDF
申请/专利号EP20050253160
发明设计人 TACHIKI M. C/O NATIONAL INST. FOR MATERIALS SCIEN;TAKANO Y. C/O NATIONAL INST. FOR MATERIALS SCIEN;UMEZAWA HITOSHI;KOBAYASHI KENSAKU;NAGAO M. C/O NATIONAL INST. FOR MATERIALS SCIENC;KAWARADA H.;
申请日2005-05-23
分类号C23C16/27;H01L39/24;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 21:29:35