机译:晶片预对准装置,晶片存在判断方法,晶片边缘位置传感方法,具有执行该位置传感方法的记录程序的计算机可读记录介质,晶片边缘位置传感装置以及预校正传感器
公开/公告号KR20060060057A
专利类型
公开/公告日2006-06-02
原文格式PDF
申请/专利权人 KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI;
申请/专利号KR20067007398
申请日2006-04-17
分类号G01B11/00;G01N21/86;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 21:25:37