公开/公告号DE69927461D1
专利类型
公开/公告日2006-02-09
原文格式PDF
申请/专利号DE19996027461T
发明设计人 WANG LUPING;TOM GLENN;
申请日1999-04-28
分类号C23C14/24;C23C16/448;F17C1;F17C7;F17C7/02;F17C7/04;F17C9/02;F17C11;F17C13;F17C13/02;F17C13/04;H01L21/205;H01L21/265;H01L21/306;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 21:17:47