要解决的问题:在大规模生产系统中通过纳米管稳定地桥接电极。
解决方案:将具有沿着电极3a,3b的相对方向的流路5a的流路图案5放置在面对的电极上,其中分散有碳纳米管7的溶剂被引导到流路以使其能够流动。沿一个方向流动,并且在干燥溶剂之后,将流动路径图案5从电极上剥离,从而控制纳米管7的位置。相邻电极之间的间隔M和相邻流动路径之间的间隔N具有它们之间的固定关系。流路图案5由放置在相对的电极上的膜状材料构成,并且沿着电极的相对方向设置有许多流路。各个流路以固定的间隔彼此平行地形成,并且相邻流路之间的间隔N和相邻电极之间的间隔M在它们之间具有固定的关系。在膜状材料的端部处设置有在其中分散有碳纳米管7的溶剂的液体池5b,5c,以使液体池与各自的流路连通。
版权:(C)2007,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2007125620A
专利类型
公开/公告日2007-05-24
原文格式PDF
申请/专利权人 ASHITOMI MASANORI;
申请/专利号JP20040162194
发明设计人 ASHITOMI MASANORI;
申请日2004-05-31
分类号B82B3/00;C01B31/02;H01L21/3205;H01L23/52;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:13:47