解决方案:可变形反射镜配备有多个电极部分和与电极相对设置的薄膜状反射面,并通过施加在电极部分上的静电电压产生变形,并测量施加到每个电极上的电压当通过检测反射面的反射而形成所需形状的反射面时,将施加到与反射面的基准形状相对应的每个电极部的电压作为一组来存储对应于电极的规定数量的电极组。规定数量的不同形状的反射面,通过叠加存储的电极部分和施加的电压将反射面变形为所需形状,并补偿像差。优选地,相对于Zernike多项式的规定尺寸存储反射面的参考形状。
版权:(C)2007,日本特许厅&INPIT
公开/公告号JP2007021044A
专利类型
公开/公告日2007-02-01
原文格式PDF
申请/专利权人 TOPCON CORP;
申请/专利号JP20050210675
申请日2005-07-20
分类号A61B3/14;G02B5/08;G02B26/08;A61B3/10;A61B3/12;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 21:12:22