机译:半导体装置的评估方法,半导体装置的制造方法,包括该半导体装置的装置的设计管理系统,该半导体装置的剂量控制程序,记录该程序的计算机可读记录介质以及剂量控制装置
公开/公告号US2007037330A1
专利类型
公开/公告日2007-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 TATSUYA HONDA;
申请/专利号US20060503205
发明设计人 TATSUYA HONDA;
申请日2006-08-14
分类号H01L21/84;
国家 US
入库时间 2022-08-21 21:05:15