退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
机译:显微组织中各向异性腐蚀的分析方法
公开/公告号AT357057T
专利类型
公开/公告日2007-04-15
原文格式PDF
申请/专利权人 DALSA SEMICONDUCTOR INC.;
申请/专利号AT20010996882T
发明设计人 YAN RIOPEL;ANTAKI ROBERT;
申请日2001-11-15
分类号H01L21/66;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 20:55:15
机译: 显微组织中各向异性腐蚀的分析方法
机译: 循环两步氧化-刻蚀过程中硅微结构的各向异性等离子体刻蚀方法
机译: 高频热处理中碳钢显微组织分析的蚀刻溶液,采用相同的蚀刻方法