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MICROSCOPE AND MICROEXAMINATION METHOD

机译:显微镜和微量检验方法

摘要

The invention relates to a microscope which comprises a radiation source module (1) generating electromagnetic radiation for impinging a sample (6) to be examined, an optical module (2) directing the radiation onto the sample (6), and a detection module (4) detecting the radiation coming from the impinged sample. The radiation source module (1) comprises a surface-emitting semiconductor laser (7) having a vertical resonance chamber as the radiation source.
机译:本发明涉及一种显微镜,该显微镜包括:辐射源模块(1),该辐射源模块(1)产生电磁辐射以撞击待检查的样品(6);光学模块(2),将辐射引导到样品(6)上;检测模块( 4)检测来自撞击样品的辐射。辐射源模块(1)包括具有垂直谐振腔作为辐射源的表面发射半导体激光器(7)。

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