要解决的问题:在降低具有Sr 解决方案:在溅射系统1中,在处理室S的内表面上,与靶材15的材料相同的保护构件35固定在靶材15的周围。在溅射系统1中溅射形成有金属氧化物的导体膜,从而在下部导体膜上形成强电介质膜。然后,通过退火炉加热形成有铁电膜的晶片W,使铁电膜氧化。因此,可以形成具有35的介电常数和超过50kV / cm的矫顽电场的,传统上无法实现的铁电膜。 版权:(C)2004,日本特许厅和日本国家唱片公司
公开/公告号KR100732930B1
专利类型
公开/公告日2007-06-29
原文格式PDF
申请/专利权人
申请/专利号KR20057014386
申请日2005-08-04
分类号H01L27/105;H01L27/10;H01B3/12;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 20:31:54