公开/公告号DE69838484D1
专利类型
公开/公告日2007-11-08
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申请/专利权人 ASM AMERICA INC.;
申请/专利号DE1998638484T
发明设计人 WENGERT JOHN F.;BARRETT ERIC;RAAIJMAKERS IVO;JACOBS LOREN;VAN BILSEN FRANK;GOODMAN MATT;WOOD ERIC;HALPIN MIKE;MEYER MICHAEL J.;SAMUELS BLAKE;
申请日1998-11-02
分类号C23C16/44;C23C16/48;G01K1/12;H01L21/00;H01L21/205;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 20:27:24