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Method of manufacturing wafer-level chip-size package and molding apparatus used in the method

机译:制造晶片级芯片尺寸封装的方法以及该方法中使用的成型设备

摘要

Provided are a method of manufacturing wafer-level chip-size packages and a molding apparatus suitable for practicing the method whereby a semiconductor wafer having a plurality of semiconductor chips formed thereon may be encapsulated. The semiconductor wafer, typically with a plurality of conductive bumps extending from the semiconductor chips, will be placed in a cavity formed between upper and lower molds. Injection molding of an encapsulant composition or compression molding of encapsulant sheets may then be used to apply encapsulating layers to the upper and lower surfaces of the semiconductor wafer in a substantially simultaneous manner, thereby reducing the likelihood of warping and mechanical damage to the semiconductor wafer. The wafer-level chip-size packages can then be separated from the encapsulated semiconductor wafer.
机译:提供了一种制造晶片级芯片尺寸封装的方法和一种模制设备,该模制设备适于实施该方法,由此可以封装在其上形成有多个半导体芯片的半导体晶片。通常具有从半导体芯片延伸的多个导电凸块的半导体晶片将被放置在上模具和下模具之间形成的腔中。然后可以使用密封剂组合物的注射成型或密封剂片的压缩成型以基本上同时的方式将密封层施加到半导体晶片的上表面和下表面,从而减小翘曲和对半导体晶片的机械损坏的可能性。然后可以将晶片级芯片尺寸的封装与封装的半导体晶片分离。

著录项

  • 公开/公告号US7371618B2

    专利类型

  • 公开/公告日2008-05-13

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 TAE-SUNG YOON;

    申请/专利号US20040842523

  • 发明设计人 TAE-SUNG YOON;

    申请日2004-05-11

  • 分类号H01L21/50;H01L21/48;H01L21/44;H01L23/28;H01L23/29;H01L23/544;H01L21/78;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 20:12:26

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