公开/公告号SG143230A1
专利类型
公开/公告日2008-06-27
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号SG20070183197
发明设计人 ZHONG QIANG HUA;RIONARD PURNAWAN;JASON THOMAS BLOKING;ANCHUAN WANG;YOUNG S. LEE;ELLIE Y. YIEH;
申请日2007-12-04
分类号C23C16/44;C23C16/52;H01L21/3065;
国家 SG
入库时间 2022-08-21 20:05:37