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机译:用于狼蛛底物的抛光操作
公开/公告号AT377636T
专利类型
公开/公告日2007-11-15
原文格式PDF
申请/专利权人 CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION;
申请/专利号AT20050760404T
发明设计人 VACASSYR. LEGAL DEPT;SIMPSON A LEGAL DEPT;KHANNA D. LEGAL DEPT;
申请日2005-06-10
分类号C09G1/02;C09K3/14;C23F3/06;H01L21/321;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 20:05:17
机译: 用于狼蛛底物的抛光操作
机译: 识别涡流传感器的轨迹的方法,计算基体抛光进度的方法,停止基体抛光设备运行的方法,调整基体抛光过程的方法,用于校正和记录的程序,用于存储代码的程序
机译: 确定涡流传感器轨迹的方法计算基体抛光进程的方法停止基体抛光设备运行的方法重新调整基体抛光过程的程序以执行相同和更坏的记录