首页> 外国专利> SMART LOAD PORT WITH INTEGRATED CARRIER MONITORING AND FAB-WIDE CARRIER MANAGEMENT SYSTEM

SMART LOAD PORT WITH INTEGRATED CARRIER MONITORING AND FAB-WIDE CARRIER MANAGEMENT SYSTEM

机译：带有集成运营商监控和FAB全方位运营商管理系统的智能装载端口

页面导航

摘要
著录项
相似文献

摘要

A system is disclosed capable of monitoring a plurality of performance characteristics of a wafer carrier on a load port (28), and to a system for managing carrier operation on a fab-wide basis.

机译：公开了一种系统，该系统能够监视装载端口（28）上晶片载体的多个性能特征，并且涉及一种用于在整个晶圆厂范围内管理载体操作的系统。

著录项

公开/公告号EP1316050A4

专利类型
公开/公告日2007-11-28

原文格式PDF
申请/专利权人 ASYST TECHNOLOGIES INC.;
展开▼

申请/专利号EP20010963957
发明设计人 MARTIN RAYMOND S.;
展开▼

申请日2001-08-14
分类号G06F19/00;H01L21/66;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/673;H01L21/677;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 20:00:59

相似文献

专利
外文文献
中文文献