公开/公告号EP1864186A2
专利类型
公开/公告日2007-12-12
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;
申请/专利号EP20060730969
发明设计人 MISUMI KOICHIC/O TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;SAITO KOJIC/O TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;WASHIO YASUSHIC/O TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;SENZAKI TAKAHIROC/O TOKYO OHKA KOGYO CO. LTD.;
申请日2006-03-28
分类号G03F7/004;G03F7/039;H01L21/60;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 20:00:13