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A METHOD FOR MANUFACTURING A DEVICE USING IMPRINT LITHOGRAPHY AND DIRECT WRITE TECHNOLOGY

机译:利用光刻技术和直接写技术制造器件的方法

摘要

The present invention provides a method for manufacturing, as well as a method for manufacturing an integrated circuit. The method for manufacturing, among others, may include forming one or more devices of a first type over a substrate using imprint lithography, and forming one or more devices of a second type over the substrate using a direct write technology.
机译:本发明提供一种制造方法以及一种集成电路的制造方法。除了别的以外,用于制造的方法可以包括:使用压印光刻在基板上形成一个或多个第一类型的器件;以及使用直接写入技术在基板上形成一个或多个第二类型的器件。

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