公开/公告号DE69838627D1
专利类型
公开/公告日2007-12-13
原文格式PDF
申请/专利权人 CANON K.K.;
申请/专利号DE19986038627T
发明设计人 YAJIMA TAKAHIRO;FUJIOKA YASUSHI;OKABE SHOTARO;KANAI MASAHIRO;OHTOSHI HIROKAZU;SAKAI AKIRA;SAWAYAMA TADASHI;KOHDA YUZO;
申请日1998-03-09
分类号H01L31/02;H01L31/20;C23C16/54;H01L31/105;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:47:30