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LOCKED PHOTODIODE HAVING HIGH STORAGE CAPABILITY, FOR EXAMPLE FOR AN IMAGE SENSOR, ASSOCIATED IMPLEMENTATION METHOD, AND IMAGE SENSOR COMPRISING SUCH A DIODE.

机译:具有高存储能力的锁定光电二极管,例如用于图像传感器,相关的实现方法以及包含此类二极管的图像传感器。

摘要

A photodiode formed of a region of a first type (210) within a region of a second type (220) of a semiconductor substrate. The region of the first type comprises a first zone (212) comprising a dopant of the first type at a first concentration (C1) and having a first depth (P1). According to the invention, the region of the first type (210) also comprises a second zone (214) adjacent to the first zone (212), comprising the dopant of the first type at a second concentration (C2) greater than the first concentration (C1 ) and having a second depth (P2) smaller than the first depth (P1) .The invention also relates to a method for producing such a diode.Application to the production of image sensors.
机译:由半导体衬底的第二类型(220)的区域内的第一类型(210)的区域形成的光电二极管。第一类型的区域包括第一区域(212),该第一区域包括第一类型的第一浓度(C1)且具有第一深度(P1)的掺杂剂。根据本发明,第一类型的区域(210)还包括与第一区域(212)相邻的第二区域(214),第二区域(214)包括第二类型的掺杂物,第二掺杂物的第二浓度(C2)大于第一浓度。二极管(C1)具有小于第一深度(P1)的第二深度(P2)。本发明还涉及一种制造这种二极管的方法。本发明还涉及图像传感器的制造。

著录项

  • 公开/公告号FR2910713A1

    专利类型

  • 公开/公告日2008-06-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 STMICROELECTRONICS SA;

    申请/专利号FR20060011350

  • 发明设计人 FRANCOIS ROY;

    申请日2006-12-26

  • 分类号H01L31/103;H01L27/146;H01L27/148;H01L31/18;

  • 国家 FR

  • 入库时间 2022-08-21 19:47:03

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