公开/公告号JP2009134255A
专利类型
公开/公告日2009-06-18
原文格式PDF
申请/专利权人 SEKISUI CHEM CO LTD;
申请/专利号JP20080202143
申请日2008-08-05
分类号G03F7/40;B81C3/00;C08F2/44;C08F265/06;C09D11/10;G03F7/20;G03F7/004;H01L21/027;G01N37/00;B01J19/00;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:45:06