公开/公告号JP2008546179A
专利类型
公开/公告日2008-12-18
原文格式PDF
申请/专利权人 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド;
申请/专利号JP20080512459
发明设计人 ジェニングズ;ディーン;マユール;アブヒラッシュ;ラマスワミー;カーティク;ガロ;ビアジオ;パリハール;ヴィジェイ;グイェン;アンドリュー;コリンズ;ケニス;エス.;アル-バヤティ;アミール;マ;カイ;ハナワ ヒロジ;
申请日2006-05-16
分类号H01L21/265;H01L21/314;C23C16/505;C23C16/44;C23C16/01;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:39:49