公开/公告号JP4216768B2
专利类型
公开/公告日2009-01-28
原文格式PDF
申请/专利权人 エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド;
申请/专利号JP20040162174
发明设计人 ジーン ルイーズ ビンセント;マーク レオナルド オニール;レイモンド ニコラス バーティス;アーロン スコット ルーカス;ブライアン キース ピーターソン;マーク ダニエル ビットナー;
申请日2004-05-31
分类号H01L21/312;C23C16/42;C07F7/04;C07F7/18;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 19:37:22