公开/公告号NL1036766A1
专利类型
公开/公告日2009-10-27
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML NETHERLANDS B.V.;
申请/专利号NL20091036766
发明设计人 JOHANNES WILHELMUS JACOBUS LEONARDUS CUIJPERS;ROELOF FREDERIK DE GRAAF;ANTONIUS JOHANNUS VAN DER NET;MARTINUS WILHELMUS VAN DEN HEUVEL;MARCO KOERT STAVENGA;
申请日2009-03-24
分类号G03F7/20;
国家 NL
入库时间 2022-08-21 19:26:17