公开/公告号AT422560T
专利类型
公开/公告日2009-02-15
原文格式PDF
申请/专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC.;
申请/专利号AT20020766168T
发明设计人 LI JIUTAO;MCTEER ALLEN;
申请日2002-08-30
分类号C23C14/18;C23C14/34;C23C14/06;C23C14/54;C23C14/58;H01L27/105;H01L27/24;H01L45/00;
国家 AT
入库时间 2022-08-21 19:24:33
