公开/公告号DE60231129D1
专利类型
公开/公告日2009-03-26
原文格式PDF
申请/专利权人 MICRON TECHNOLOGY INC.;
申请/专利号DE20026031129T
发明设计人 LI JIUTAO;MCTEER ALLEN;
申请日2002-08-30
分类号C23C14/18;C23C14/34;C23C14/06;C23C14/54;C23C14/58;H01L27/105;H01L27/24;H01L45;
国家 DE
入库时间 2022-08-21 19:07:54