公开/公告号WO2008112673A3
专利类型
公开/公告日2009-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;TOKYO ELECTRON AMERICA INC.;SUNDARARAJAN RADHA;CHEN LEE;FUNK MERRITT;
申请/专利号WO2008US56478
申请日2008-03-11
分类号H01L21/687;C23C16/458;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:21:34