公开/公告号WO2009064871A2
专利类型
公开/公告日2009-05-22
原文格式PDF
申请/专利权人 VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES INC.;KELLERMAN PETER L.;PURSER KENNETH;RADOVANOV SVETLANA;SINCLAIR FRANK;SLOCUM JOHN;BENVENISTE VICTOR M.;
申请/专利号WO2008US83386
发明设计人 KELLERMAN PETER L.;PURSER KENNETH;BENVENISTE VICTOR M.;SLOCUM JOHN;SINCLAIR FRANK;RADOVANOV SVETLANA;
申请日2008-11-13
分类号H01L21/265;H01L21/66;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 19:18:45